LMガイドを使用したステージ部品です。ゴリなくガタなくスムーズに動きます。
耐真空部品接着です。ヘリウムリークディテクターでリークをチェックします。
走査型電子顕微鏡の試料ステージ(部品作成から動作試験まで行なっております。)
半導体用製造装置拡散炉用FOUPステージ